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機械工程學院裝備智能設計與方法科研團隊何江波副教授在MEMS行波超聲電機方向取得重要成果

作者:陳昶來源:機械工程學院發布時間:2023-09-19瀏覽次數:1342

近期,機械工程學院裝備智能設計與方法科研團隊何江波副教授在國際知名期刊《MECHANICAL SYSTEMS AND SIGNAL PROCESSING》發表題為“Traveling wave distortion of MEMS ultrasonic motor induced by anisotropic elasticity”的研究論文。何江波副教授為論文的第一作者,西華大學為論文的第一完成單位,合作單位包括電子科技大學和中國工程物理研究院微系統與太赫茲研究中心。

期刊《MECHANICAL SYSTEMS AND SIGNAL PROCESSING》為中科院SCI分區1區,工程技術類Top期刊,影響因子8.934。作為工程技術領域的多學科期刊,《MECHANICAL SYSTEMS AND SIGNAL PROCESSING》旨在發表系統建模與信號處理相關的高質量原創性研究成果,涉及的學科包括機械工程、航空航天工程及土木工程等。

MEMS行波超聲電機是一種基于微機電系統技術進行制造的微型電機,其基本原理是通過逆壓電效應激發定子的微幅振動,然后利用摩擦效應將定子微幅振動轉化為轉子的持續轉動。然而,行波畸變問題會對MEMS行波超聲電機的輸出穩定性和效率造成嚴重影響。針對行波畸變問題,該論文首次發現了單晶硅材料的各向異性是誘發行波畸變問題的因素之一,通過Hamilton原理建立了畸變行波的機電耦合模型,基于模型探明了模態惡化是各向異性誘發行波畸變問題的內在機理,并且篩選出了能夠保證高質量行波的最優模態,最后通過實驗測試驗證了理論研究結果。 


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